Модуль «MEMS» для программы COMSOL Multiphysics®

Модуль «MEMS» расширяет возможности базовой платформы COMSOL Multiphysics^®, добавляя в нее инструменты для моделирования различных микроэлектромеханических систем, сочетающих в себе любые комбинации электрических, тепловых, механических, а также гидродинамических явлений.

Области применения модуля «MEMS»:

• Прочностной анализ МЭМС-компонентов, в т.ч. с учетом геометрической нелинейности, остаточных напряжений и контактных эффектов.
• Вибрационный анализ МЭМС-компонентов, в т.ч. с учетом механического затухания, анкерных потерь, термоупругого демпфирования и потерь в тонких пленках разряженных газов.
• Расчет электростатического возбуждения кремниевых актуаторов, резонаторов и генераторов.
• Моделирование пьезоэлектрических и пьезорезистивных эффектов, в т.ч. ПАВ- и ОАВ-устройств.
• Моделирование МЭМС-датчиков давления, ускорения (акселерометров) и вращения (гироскопов).
• Тепловой и электротехнический анализ МЭМС-компонентов, микрорезисторов и термоактуаторов.
• Моделирование взаимодействия микромеханических конструкций и потоков жидкостей или газов в микронасосах и биодатчиках.